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   全自動(dòng)光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來(lái),樣品對(duì)準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測(cè)量的可重復(fù)性和精確性。已獲得專利的自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤;能夠工作于透明或反射基底;能夠進(jìn)行地貌圖測(cè)量,包括翹曲晶片。

產(chǎn)品特點(diǎn):
全自動(dòng)樣品校準(zhǔn)
高測(cè)量速率 < 8秒
消除了全波段范圍內(nèi)的盲點(diǎn)
可測(cè)量透明和吸收基底
高測(cè)量精度
具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
友好的軟件界面,強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析功能
具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能


技術(shù)指標(biāo):
光源:氙燈
光斑直徑:1-3mm
入射角范圍:20°到90°自動(dòng)控制
波長(zhǎng)范圍:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
波長(zhǎng)精度:1nm
 測(cè)量時(shí)間: < 8s (取決于測(cè)量模式和粗糙度)
 入射角度精度:0.01


可選配:
CCD線陣列探測(cè)元件:200-850nm,350-1000nm
樣品顯微鏡
高穩(wěn)定性消色差補(bǔ)償器
透射測(cè)量架
XY移動(dòng)樣品臺(tái)


典型客戶:
美國(guó),歐洲,亞洲及國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能及半導(dǎo)體客戶。

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